中微半导体发布首款MOCVD设备进军半导体照明市场

在SEMICON China 2013开展首日，中微半导体设备（上海）有限公司正式发布了具有自主知识产权的多反应器金属有机化合物气相沉积设备（MOCVD）——Prismo D-Blue?，并首次进入半导体照明市场。
 

 

Prismo D-Blue? MOCVD 设备可以实现复杂的氮化镓、铟镓氮、铝镓氮超薄层结构的大批量生产，这些超薄层结构对于高亮度LED是必需的。中微的 MOCVD 设备不仅具有精准的参数控制、全自动化处理和独特的紧凑设计等特点，而且拥有高生产率、高产能和低成本投入，是 LED 芯片制造过程中必不可少的新一代 MOCVD 设备。
 

中微此款具有自主知识产权的 MOCVD 设备可以容纳多达4个反应器，每个反应器都可以独立控制。这一创新设计可以实现卓越的生产灵活性。它也是该类设备中唯一带有这一特性的产品，也就是说，中微的 MOCVD 设备可以以并行或者串行模式运行，这就减少了交叉污染，并且保证了晶体的高质量，这是先进的 LED 器件所必需的。中微的MOCVD设备在外形尺寸上也有相当的优势，它比竞争者的单反应器机台的占地面积小了近30%，因此，Prismo D-Blue对于目前的 LED 芯片生产线无疑是占地面积更小的绝佳选择。
 

中微的Prismo D-Blue设备可以同时加工216片2英寸晶圆。它的工艺能力还能延展到生长4英寸、6英寸和8英寸外延芯片。除了具有多反应器结构的优点可以使其加工灵活性达到最大化以外，Prismo D-Blue 在每个关键性能指标上的表现都十分出色。在马拉松测试中，它表现出了优异的片内和片与片之间的均匀性以及很好的重复性。这些结果都是在整个外延芯片加工的过程中未作任何工艺参数调整而得出的。外延芯片加工的过程对于反应腔室表面的条件、化学气体环境、温度转换控制和其他可变因素都极为敏感，因此在这种加工过程中，能达到持续的重复性确实有它独到的一面。
 

在上述马拉松测试中，Prismo D-Blue 从未发生过任何异常中断，中微通过对工艺参数现场实时的监控实现了高可靠性。这种高可靠性还得益于一系列复杂的软件程序、先进的传输模块、流程自动化和控制技术。这些同样也是使得中微的半导体前端加工设备被业界广为认可的技术。
 

Prismo D-Blue 还被进一步优化以方便用户更易操作与维护。这对于一个发展迅速并看重成本的 LED 芯片制造商来说是至关重要的。卓越的加工性能和正常可运行时间可以拉大服务之间的差距，而新颖的设计特点则能够使得设备维护更加简便易行。同时，自动化、可编程的维护程序使得反应腔开关操作更加安全、快捷、可预测并且不易出错。
 

Prismo D-Blue 目前已拥有100多项专利（包括授权和未授权专利）以保护其独特的创新性。此外，它还遵循了半导体制造规则并完全符合 SEMI 标准。
 

中微半导体董事长兼首席执行官尹志尧表示，中微为全球半导体制造商提供了先进的工艺技术和设备。目前，中微已有超过200个刻蚀反应机台在亚洲16条国际领先的半导体生产线上运行。中微在硅技术上积累了丰富的经验和工艺知识，进入半导体照明市场对于中微而言是水到渠成的一步。中微半导体不断开发新产品进入新领域，并且步伐在不断加快，MOCVD设备的开发到成功推出仅仅花了两年的时间。中微有充分信心通过与客户配合试生产并不断完善，将其MOCVD设备打造成为全球最一流的设备之一。
 

SEMI全球副总裁、SEMI中国总裁陆郝安博士对中微新产品的发布表示热烈的祝贺，他表示，SEMI作为全球专业的半导体设备与材料行业协会，在中国的使命即为推动中国半导体产业的发展。当前中国本土半导体业者最缺失的是核心竞争力，比如LED外延关键设备MOCVD多从国外采购，而今天中微在此领域取得重大突破成就是非常有意义的。