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【电报】全球首台TOPCon技术ALD设备量产

   2020-03-14 世纪新能源网19510
核心提示:世纪新能源网(新能app)消息:近日,江苏微导纳米科技股份有限公司宣布其研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产
世纪新能源网(新能app)消息:近日,江苏微导纳米科技股份有限公司宣布其研发的全球首台适用于TOPCon技术的ALD设备正式进入量产阶段。

微导研发的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉积设备平台,用于Topcon电池生产技术,产品已交用户使用,工艺参数的开发及优化取得重大技术突破,随着中试线的搭建完成,相应的高效Topcon电池即将面世。

祝融系列作为全球首创兼容PERC与TOPCon两种工艺技术的镀膜平台,其有着独特的设计理念。平台能很好地与目前量产PERC工艺兼容,技术首次通过一台设备完成三种工艺,相对于传统LPCVD设备沉积技术,将大幅改善N型电池正面多晶硅绕度面积与掺杂多晶硅镀膜速率降低的影响。设备兼容性还体现于硅片尺寸,P型背面钝化与N型电池正背面钝化技术。

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基于Topcon电池结构,原有PERC线升级TOPCon路线,仅需新增一台祝融平台与一台对应的清洗机,以及一台硼扩(或者通过改造原PERC产线的磷扩散机台),就可以完成Topcon电池正面氧化铝/氮化硅 ,背面遂穿氧化层/多晶硅与氮化硅的钝化。体现了该设备优异的整合能力与生产的可调度性。固定资产投入具备竞争力,同时工艺路线也可简化与控制。

该设备平台制备的钝化膜体现了优异的镀膜均匀性和方阻均匀性,掺杂钝化效果也明显优于传统的磷扩散工艺,同时在钝化表现部分,也展现了综合的正背面钝化能力。

Topcon电池技术极大地简化了电池生产工艺,性价比高,且能量转化率高,最有望作为下一代N型高效电池的切入点。
 
标签: TOPCon
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