现行多晶硅生产流程中 如何增效降耗问题的探讨

中国四佳半导体材料公司　莫运筹　 国内现行的常规西门子法生产多晶硅的工艺中, 减少工艺物料消耗的重点部位是在SiHCl3 合成工序中如何提高硅烷中SiHCl3含量和减少氯硅烷气的冷凝损失; 在氯硅烷的氢还原工序中如何减少还原尾气中硅烷的深冷回收损失和如何提高还原综合回收率的问题。这样可再挖掘潜力, 使目前国内最好水平的硅粉和液氯消耗再减少20% —25% , 氢气消耗有望达到12Nm 3ökg。