多晶硅生产中回收氢气的净化

刘建军 (北京有色冶金设计研究总院, 北京　100038)

[ 摘　要]　本文介绍了回收氢气净化的基本原理、工艺流程, 及用回收氢气生产多晶硅的实践结果, 分析了半导体多晶硅生产中, 利用活性炭净化从还原炉尾气中回收的氢气。