台湾材料设备厂加入CIGS联盟　预计2012年推整线设备

近几年来，台湾设备产业积极转型布局太阳光电产业，在薄膜太阳能方面，其中铜铟镓硒(CIGS)技术尤其受到设备业者的青睐，包括均豪、志圣及富临等业者皆投入，在设备业者推动下，促成CIGS产业联盟成立，在第1阶段推动计画中，设备业者也扮演先锋部队，目前以均豪为首，已有7家材料设备厂加入，预计于2011年陆续推出设备机台，并期望于2012年推出整线设备(turn-key)。

由于CIGS具有较高的转换效率，吸引不少材料设备业者投入，包括志圣投入硒化炉，真空设备商富临开发的G3.5溅镀PVD生产设备，已出货给台系太阳能业者，并成功试产出CIGS薄膜太阳能电池，转换率可达13%，另外也投入开发硒化炉，采用硒化氢(H2Se)为主要反应性气体的硒化技术。至于均豪也基于其面板设备的基础，投入溅镀(sputter) 设备的开发。

根据工研院报告指出，目前在CIGS设备中的潜力设备厂商包括均豪、北儒、志圣、钦扬、友威、睿明、台技等。在大面积制程中，目前台湾已经具备的设备包括吸收层设备、硒化设备、靶材与雷射画线机等。至于正在发展中的设备包括快速升温(RTP)硒化、硒化氢(H2Se)硒化、 CBD镀膜及共蒸镀机台等。

不过均豪董事长叶胜发指出，CIGS设备开发投资金额大，中小企业负担沈重，但若设备业没有先开发出设备，就难以带动整个产业界往前走，因此号召成立CIGS联盟，希望政府能投入支持设备产业。尤其CIGS太阳能的开发重点是设备、材料与制程，必须三方面合作才行，在资金面上，希望政府能尽快提出法人科专或是学界科专，加速设备发展。

工研院太电中心主任蓝崇文指出，CIGS联盟以2012年推出转换效率12%的整线设备为目标，其中第1阶段从2010年7月到2011年底，以建立关键设备与材料能力为主，第2阶段则从2011年底到2012年底，目标已推出整线设备为主。未来并布局次世代技术，包括非真空软板卷对卷(Roll to Roll)与新材料技术。

叶胜发进一步指出，目前以均豪为首，共有7家材料设备业者加入联盟，初期分别投入开发单机机台，如均豪开发溅镀设备，志圣开发硒化炉，另有业者开发模块段设备及机械印刷设备等等，第1阶段预定转换效率为10%，第2阶段预计将转换效率提升至12%，并且将各家业者的设备整合，推出整线设备。