黄河水电启动国家科技重大专项电子级多晶硅材料研发

日前，国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(即：国家02专项)电子级多晶硅材料研发工作在黄河公司新能源分公司启动。

该项目由黄河公司新能源分公司和光伏技术中心共同承担，针对40纳米集成电路用12英寸硅单晶产品进行研发。该公司2500吨/年多晶硅项目是2014年工信部正式公布的109家符合《光伏制造行业规范条件》的首批企业之一，也是全国唯一一家能够生产半导体级一等品多晶硅的企业，成功填补了国内半导体应用材料的空白。

据了解，此次黄河公司承担的40纳米集成电路用12英寸硅单晶产品对纯度和其参数有严格要求，该项目是通过精馏系统和还原炉系统生产过程中关键技术研究及工艺改进，来提高中间产品纯度，并通过完善对中间产品和氢气等关键材料的分析方法实现全过程质量控制,完成产品质量整体提升，预计2016年12月完成。项目的成功实施将打破中国40纳米集成电路用12英寸硅单晶产品完全依靠国外进口的历史。

此次黄河公司申报的国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(02专项)电子级多晶硅材料研发项目于今年5月26日由专项实施管理办公室正式批复同意，该项目将通过事后立项事后补助的方式，获得国家财政补助。