高效的硅片切缝技术

    德国环境部资助的一个新的项目，Fraunhofer材料力学研究所（IWM）正试图减少硅锭到硅片过程中的切缝损失。

    切割是用一条附有研磨液的超细金属丝进行的，此过程中，会产生约为180微米的缺口，而硅片也为180微米。伴随着缺口的出现，硅锭在此过程中变成粉尘，因此，会产生近50％的切缝损失。IWM部门经理Rainer Kübler称：“我们若要降低缺口损失，可将其降到100微米，也不影响工业使用。”

    研究人员将重点放在研磨机理上，研究金属丝、研磨液和硅之间的相互作用。决定性的因素在于超细金属丝的切缝过程，研磨液的影响及成分，和金属丝上研磨液的含量。实验室中，IWM已经成功地将影响切缝损失的缺口减小到90微米。