罗芬旗下激光处理系统升级，大幅提高PERC太阳能电池产能

ROFIN-BAASEL Lasertech(罗芬)推出新款升级版“双线晶硅”(Dual Line c-Si)激光处理系统，可在新一代PERC太阳能电池设计的量产中改善产能、降低成本。最新款的双线晶硅™模块化生产平台拟在即将于2014年5月22-24日在中国上海召开的第八届SNEC太阳能展会中亮相。

针对问题

PERC和选择性发射机工艺可在晶硅太阳能电池上实现高达1%的绝对效率提升，但该技术需要对批量生产进行迁移并牺牲部分产量作为成本。

解决方案

罗芬公司在光伏创新联盟(Photovoltaics Innovation Alliance)旗下的FutureFab项目中参与短波和短脉冲激光设备的研发，该类型的设备是减少背接触孔形成过程中出现的次表层损害、优化背表面钝化流程。相关研究显示，复杂的超短飞秒和皮秒激光与纳秒激光脉冲在介电层激光刻蚀过程后所形成的表面结构完全不同。然而，在BSF(背表面场)形成之后，相关研究显示，使用纳秒绿光激光脉冲进行的背表面钝化开槽而制造出的高效太阳能电池，与使用紫外皮秒脉冲工艺具有相同的性能值水平。对于工艺流程优化来说较为重要的一点是使用强度为五倍于上文提及的纳米激光源的工业激光的能力，从而大幅降低对每片硅片进行激光处置的流程周期，并改善总体硅片吞吐量，这对于量产应用来说十分重要。

产品应用

本产品可应用于PERC电池的激光刻蚀流程中。

相关信息

Dual Line c-Si激光系统现已搭载了高效SHG纳秒激光源，该激光源专为在不增加激光损伤的情况下进行大型点直径的制造而配置了专门光束模态。这一正在申请专利的工艺流程可在钝化层进行点阵开槽，从而将扫描速度提高至20m/s以上。凭借激光可是流程周期的大幅缩短，并从而实现生产成本的降低，该产品对于使用点状结构设计的PERC电池来说是一项具有重大意义的突破。Dual Line c-Si激光系统同时还具有“飞行加工”(on the fly)工艺，这是一套新系统，可在事实上减少硅片在激光处置工艺周期间的处置与传输时间，从而凭借高达每小时3600片的高速工艺改善生产力。

上市时间

2014年5月。