康肯Scrubber除害机 废气处理专家

日本康肯株式会社（kanken）1978年成立，投入新技术产业的挥发性有机气体（VOCs）处理，已有30年以上专业经验，为制程废气处理（Scrubber）的专家，被公认为污染防治设备界的翘楚。kanken台湾子公司--台湾康肯环保设备公司去年成立，提供本地半导体及太阳能产业所需服务。

该公司推出多款Scrubber除害机，KT1000FA是专为去除SiH4 、SiH2Cl2、WF6、PH3及4MS等半导体前段制程产生的有毒气体而设计；KT1000Fi-HS 机台适用于太阳能厂，可滤除SiH4、NH3及H2；广泛出现在工业制程的NF3、C2F6及C3F8，是造成地球暖化的元凶之一，KT1000HA机台提供了最佳解决方案。

台湾康肯环保设备公司总经理山本富男表示，KT1000FA设备采热电式设计，比吸附式机种节省耗材工本，也不会有燃烧式机种会产生二氧化碳的问题。其均温性佳，处理效率较高，台湾前二大晶圆代车间共采购KT1000FA超过1,100台。KT1000FA坚固耐用，第一部售出的机台已逾七年，至今仍未除役，深受客户肯定。

KT1000FA在日本为第一品牌，台湾市场虽面临美、德、英、韩及本土品牌产品的激烈竞争，但在12寸晶圆流水线的市占率始终遥遥领先对手；在大陆、新加坡及马来西市场也有很好的口碑。该机处理的浓度符合需求，可提供客制化机台为其最大优势。

山本富男表示，处理NF3、C2F6及C3F8所需的温度较高（1,100度以上），业界已采购40台KT1000HA，使用情形良好，是重视环保的企业眼中的优良产品。

康肯环保公司电话（03）577-3616号。（翁永全）