RENA旗下金刚石线锯可改善硅片质量和设备产出量

产品简介

 

RENA旗下RS 690-DW产品是为使金刚石线锯以最低的制备成本(CoO)获得最高的硅片质量而研发的。根据工艺参数的计算，该产品据称可将设备的产出量提高15 MW/a。同时，该产品还具有优化线锯轴间距、较高的线锯运转速度、较短的切割时间等优点，以为改善硅片质量和设备产出量提供支持。

 

针对问题

 

降低硅片成本始终是行业较为关注的一个重点，其中包括对于可减少切口损失并具有潜力实现较薄硅片的金刚石线锯的使用。然而，为实现包括硅片的质量和产量在内的产能最大化，需要专注于对总体工艺流程进行控制。在购置成本计算过程中，最为主要的一点是冷却液的成本，而冷却液的成本可通过在金刚石线锯工艺中使用合适的冷却液循环解决方案来解决。

 

解决方案

 

基于RS 690-2线锯系统的经验，RENA为金刚石线锯设备专门调试出新式RS 690-DW产品。该产品的机械组成包括：具有经优化的线锯轴间距的固定线锯、一套新式线锯管理系统和一套占地小的特制冷凝液分配循环系统。该产品在工艺上的特征据称可实现较高的硅片质量、改善TTV(总厚度偏差)值、少于1米的单位线锯消耗量和高于15 MW/a的总产出量。该设备在对156mm x 156mm的硅片进行切割时，所使用的线锯直径最小可达100 µm。凭借与SH+E集团的合作，RENA开发出了一套可增加冷却液使用寿命并降低工艺成本的冷却液循环系统。

 

产品应用

 

本品可应用于多晶/单晶硅锭的切割过程中。

 

相关信息

 

据公司称，包括电气柜在内的整套现居系统所占面积仅为3,701mm x 2,000mm，从而实现了680mm切割位上的线锯平台。据称，该系统极为便捷的操作界面(直观的人机互动界面)和维护需求可减少设备的停机时间。

 

上市时间

 

2012年9月