永吉股份旗下埃延半导体首台设备下线交付

日前，永吉股份旗下上海埃延半导体有限公司生产的首台半导体材料衬底外延设备在上海临港基地下线并交付客户，标志着公司高温气相沉积设备研制境内技术路径升级和零部件供应链整合成功，并正式开始境内客户验证。

2021年9月，永吉股份发布公告，以自有资金出资1.07亿元对上海埃延半导体有限公司进行增资扩股。投资完成后，公司持有埃延半导体51%的股权。上海埃延半导体有限公司是一家拥有独立自主知识产权的科研制造公司，致力于大硅片及第三代半导体材料衬底外延设备的生产制造以及衬底材料的研发，目前的主要产品是研发和量产外延片所需的生产设备。该公司创始人及其技术团队主要成员来自美国应用材料公司，具有超过20年的半导体及太阳能大型设备开发、设计和维护经验。公司技术团队研发的第一代设备“单腔体多片式8英寸硅片外延设备”在境外已经获得国际主流芯片厂商的验证并投入量产。

在《中国制造2025》中，大尺寸碳化硅单晶衬底被明确为“关键战略材料”“先进半导体材料”。埃延半导体开发的创新SFHC热外延通用平台技术，大幅度提高了碳化硅和硅衬底高温外延的生产效率，较国际同行具有技术领先优势。目前此设备市场主要为欧美设备商所垄断，埃延半导体的高温气相沉积设备研制生产成功将缩小与国际同行的技术差距，参与国际市场竞争。