v10.0
现货供应 6·5寸125单晶硅片
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品 名
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技术要求
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太阳能级单晶硅片
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1、规格型号：P型,掺杂剂:硼(B)
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2、尺寸：125*125±0.5mm
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3、对角长度：165mm±0.5mm
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4、厚度：200±20μｍ
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5、中心厚度：≥185μｍ
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6、电阻率：1~3Ωcm
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7、少子寿命：≥10μｓ
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8、损伤层：<15μｍ
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9、位错密度：≤3×103个atoms/cm3
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10、径向电阻率变化:＜15%
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11、切割方式：多线切割90°
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12、总厚度变化(TTV)：≤30μｍ
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13、垂直度：90±0.3°
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14、垂直度变化: ≤0.5mm
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15、晶向：<100>±2°
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16、碳含量：≤5*1016atoms/cm3
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17、氧含量：≤1*1018atoms/cm3
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18、翘曲度：≤40μｍ
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