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收藏  |   举报 2011-05-17 22:18   关注:2646   回答:0

PECVD核心问题讨论

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最近本人遇到一个难题,也就是我们做PECVD经常要考虑的:SiN钝化作用!
目前我们做出来的电池片,镀膜以后少子寿命有明显的下降,一直在寻找原因。
问各位能兄是否遇到相同的情况!或者提供相关的能够提高少子寿命的工艺方案。
设备大家都知道,是板P和管P!
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