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点击 6446回答 0 2011-05-16 22:05

关于边缘问题的求教

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最近厂里边缘片比较多,(一根棒子大概有20片左右)而且都在晶棒的两头位置出现。
自己分析原因如下:
                 1.截断造成的机械损伤(用刀截断)
                 2.预清洗脱胶时水压过大(调小后情况无好转)
                 3.预清洗脱胶时硅片晃动过大(用手洗硅片边缘依旧)
望对这块有过了解的资深大虾给帮忙看下,,这到底时什么原因造成的还有相应的解决方案。
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