请教各位大侠﹐硅棒内部的应力有办法测试吗﹖

     最近拉制的硅棒﹐切片后出现了应力片﹐我们已经回切了﹐按理说应该不是晶棒的问题了﹐但切片厂商硬说还是棒子的问题﹐所以不知道有什么办法可以测试硅棒内部的应力﹐如果有﹐用什么仪器测试﹖
谢谢﹗