西门子法生产多晶硅的热力学

苗军舰1 陈少纯2 丘克强* ,1
(1 中南大学化学化工学院, 长沙410083)
(2 广州有色金属研究院, 广州510651)
摘要: 应用有关热力学数据研究了与西门子法相关的“Si-Cl-H”三元系的复杂化学反应, 分别绘制了在体系中存在的15 个化学
反应的!rG"
m -T 图和K"
p -T 图; 还给出在不同压强和不同SiHCl3/H2 初始比例时的平衡气相成分、η-产率随温度的变化图以及在
不同的压强下α因数随SiHCl3 初始物质的量的分数的变化图。热力学研究结果表明, 高温、低压和小的SiHCl3/H2 初始物质的
量的比对SiHCl3 还原有利; α因数随着SiHCl3 初始物质的量的比x4
0 的增大而增大。