苏州晶洲装备科技有限公司（策划部）  

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KZ-全自动去磷硅玻璃（PSG）清洗机
型号: KZ-DE-PSG
品牌：Kzone（晶洲）
用于去除硅片经扩散工序后表面产生的磷硅玻璃
优点：
1 经典槽式结构，方便维护
2 伺服驱动系统保证举升和横移运动高速稳定
3 可定制的工艺过程和干燥处理方式
4 完善的过程控制系统，全自动控温和配液补液
5 友好的视窗操作界面，可进行参数设置、手动控制、工艺转换
产品用途：
本设备主要功能是对刻蚀后硅片的表面磷硅玻璃去除
被清洗硅片：125*125*0.20mm
             156*156*0.20mm
最大产量：1600片/小时
每批最大处理量：200片
节拍：450秒
200片盒最大尺寸：730*410*210mm
技术参数：
功能 去PSG 
产品 单晶/多晶硅电池片 156*156*0.2 mm
  125*125*0.2 mm
产能 单篮节拍 450秒（可依客户要求调整）
 125mm*125mm 2400 pcs/hour
 156mm*156mm 1600 pcs/hour
 碎片率 <0.05%
配置 Siemens PLC，10寸彩色触摸屏，急停按钮、指示灯及系列报警系统，PP和SUS304槽体，GF阀门与管路配件，透明移门与视窗，特氟龙等
引进德国先进技术，价格优惠，品质保证
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苏州晶洲装备科技有限公司
SUZHOU KZONE EQUIPMENT TECHNOLOGY CO.,LTD.
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