硅片要求 规格： 方片125×125mm 、156×156mm
圆片 3"、4"、5"、6"、8"
测量功能 厚度： 单点及多点厚度
TTV: 总厚度偏差
体电阻率： 单点及多点电阻率
TRV: 总体电阻率偏差
测量指标 厚度 范围： 150-1000μm
测量误差:≤±1.0μm
重复性1σ:≤0.2μm
TTV 范围： 0.0-200.0μm
测量误差：≤±0.50μm
重复性1σ:≤0.2μm
电阻率 范围： 0.1-30Ω.cm
测量误差：≤±3.0%*R
重复性1σ:≤1.5%*R
设备尺寸 360mm(L)×350mm(W)×500mm(H)