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点击 2778回答 0 2011-05-16 21:08

关于多晶硅铸锭石墨加热器使用问题

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石墨加热器使用时间越长,它表面氧化越厉害,到一定程度后,加热功率也就上升了,而且表面氧化物也可能污染硅料。那么,到底石墨加热器使用到何时必须更换,新的石墨加热器的灰分要求是多少?请各位发表高见!
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