世纪新能源网-新能源行业媒体领跑者,聚焦光伏、储能、风电、氢能行业。
  • 微信客服微信客服
  • 微信公众号微信公众号
  • 匿名
点击 2629回答 0 2011-05-12 17:26

请教,关于试剂生产线上的清洗与烘干的问题

已关闭 悬赏分:0
看一些非晶硅薄膜生产线资料,发现两个问题?特向高人请教,帮帮我吧
首先,清洗完玻璃之后直接做SnO2沉积可以吗?会不会还需要对清洗后的玻璃烘干处理(我觉得必须要烘干下),我看那些资料上没有介绍烘干处理,是不是现在的清洗线有自动烘干的作用?
第二,TCO镀膜并划线、清洗后,在推入PECVD前,要用一个预烘炉进行预烘,请问,该预烘炉的作用是什么?对TCO起作用还是仅仅为了烘干清洗后残留水分?,又或是预烘对于PECVD制备非晶硅薄膜有什么作用?
烦请大家指点啊
反对 0举报 0 收藏 0 评论 0